Awọn iroyin ile-iṣẹ: Wafer Fab ti o kere julọ ni agbaye

Awọn aṣọ wiwọ ti o kere ju jẹ awọn ọna ṣiṣe iṣelọpọ semikondokito tuntun ti o lo awọn wafers 0.5-inch, ni pataki idinku iwọn iṣelọpọ ati idoko-owo olu ni akawe si awọn wafers 12-inch ibile. Idoko-owo olu fun ohun elo iṣelọpọ jẹ nikan nipa 500 milionu yeni (isunmọ 23.8 milionu RMB), ṣiṣe awọn SMEs ati awọn ibẹrẹ lati bẹrẹ iṣelọpọ semikondokito pẹlu idoko-owo kekere.

Awọn ipilẹṣẹ ti imọ-ẹrọ fab wafer ti o kere ju ni a le ṣe itopase pada si iṣẹ akanṣe iwadi ti ipilẹṣẹ nipasẹ National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) ni Japan ni 2008. Ise agbese yii ni ero lati ṣẹda aṣa tuntun ni iṣelọpọ semikondokito nipasẹ iyọrisi ọpọlọpọ-orisirisi. , iṣelọpọ ipele kekere. Ipilẹṣẹ, ti o jẹ idari nipasẹ Ile-iṣẹ ti Iṣowo ti Ilu Japan, Iṣowo ati Ile-iṣẹ, pẹlu ifowosowopo laarin awọn ile-iṣẹ 140 Japanese ati awọn ajo lati ṣe agbekalẹ iran tuntun ti awọn eto iṣelọpọ, ni ero lati dinku idiyele ni pataki ati awọn idena imọ-ẹrọ, gbigba awọn ẹrọ ayọkẹlẹ ati awọn aṣelọpọ ohun elo ile lati ṣe agbejade awọn semikondokito. ati sensosi ti won nilo.

** Awọn anfani ti Imọ-ẹrọ Wafer Fab Kere:**

1. ** Idoko owo-owo ti o dinku ni pataki: *** Awọn ile-iṣẹ wafer nla ti aṣa nilo awọn idoko-owo olu ti o ju awọn ọgọọgọrun ọkẹ àìmọye ti yeni lọ, lakoko ti idoko-owo ibi-afẹde fun awọn fabs wafer ti o kere ju jẹ 1/100 si 1/1000 ti iye yẹn. Niwọn igba ti ẹrọ kọọkan jẹ kekere, ko si iwulo fun awọn aye ile-iṣẹ nla tabi awọn iboju fọto fun dida Circuit, dinku awọn idiyele iṣẹ ṣiṣe pupọ.

2. ** Awọn awoṣe iṣelọpọ ti o ni irọrun ati Oniruuru: *** Awọn fabs wafer ti o kere julọ ni idojukọ lori iṣelọpọ ọpọlọpọ awọn ọja kekere-kekere. Awoṣe iṣelọpọ yii ngbanilaaye awọn SMEs ati awọn ibẹrẹ lati ṣe ni iyara ati gbejade ni ibamu si awọn iwulo wọn, pade ibeere ọja fun adani ati awọn ọja semikondokito oriṣiriṣi.

3. ** Awọn ilana iṣelọpọ ti o rọrun: ** Awọn ohun elo iṣelọpọ ti o kere ju wafer fabs ni apẹrẹ ati iwọn kanna fun gbogbo awọn ilana, ati awọn apoti gbigbe wafer (awọn ọkọ oju-irin) jẹ gbogbo agbaye fun igbesẹ kọọkan. Niwọn igba ti awọn ohun elo ati awọn ọkọ akero nṣiṣẹ ni agbegbe mimọ, ko si iwulo lati ṣetọju awọn yara mimọ nla. Apẹrẹ yii ṣe pataki dinku awọn idiyele iṣelọpọ ati idiju nipasẹ imọ-ẹrọ mimọ agbegbe ati awọn ilana iṣelọpọ irọrun.

4. ** Agbara Irẹwẹsi kekere ati Lilo Agbara Ile: ** Awọn ohun elo iṣelọpọ ni awọn ile-iṣọ wafer ti o kere julọ tun ni agbara agbara kekere ati pe o le ṣiṣẹ lori agbara AC100V ile ti o ṣe deede. Iwa yii ngbanilaaye awọn ẹrọ wọnyi lati ṣee lo ni awọn agbegbe ita ti awọn yara mimọ, siwaju idinku agbara agbara ati awọn idiyele iṣẹ.

5. ** Awọn iyipo iṣelọpọ kuru: ** iṣelọpọ semikondokito nla ti o tobi ni igbagbogbo nilo akoko idaduro pipẹ lati aṣẹ si ifijiṣẹ, lakoko ti o kere ju wafer fabs le ṣaṣeyọri iṣelọpọ akoko-akoko ti iye ti a beere ti awọn semikondokito laarin akoko ti o fẹ. Anfani yii jẹ gbangba ni pataki ni awọn aaye bii Intanẹẹti ti Awọn nkan (IoT), eyiti o nilo kekere, awọn ọja semikondokito idapọ-giga.

** Ifihan ati Ohun elo ti Imọ-ẹrọ:**

Ni ifihan “CEATEC 2024”, Ẹgbẹ Igbega Wafer Fab Kere ṣe afihan ilana lithography nipa lilo ohun elo iṣelọpọ semikondokito kekere-kekere. Lakoko ifihan, awọn ẹrọ mẹta ni a ṣeto lati ṣe afihan ilana lithography, eyiti o pẹlu ibora koju, ifihan, ati idagbasoke. Apoti gbigbe wafer (ọkọ-ọkọ) wa ni ọwọ, ti a gbe sinu ẹrọ, o si mu ṣiṣẹ pẹlu titẹ bọtini kan. Lẹhin ti pari, a ti gbe ọkọ akero ati ṣeto lori ẹrọ atẹle. Ipo inu ati ilọsiwaju ti ẹrọ kọọkan ni a fihan lori awọn diigi wọn.

Ni kete ti awọn ilana mẹtẹẹta wọnyi ti pari, a ṣe ayẹwo wafer naa labẹ maikirosikopu kan, ti n ṣafihan apẹrẹ kan pẹlu awọn ọrọ “Halleen Ayọ” ati apejuwe elegede kan. Ifihan yii kii ṣe afihan iṣeeṣe ti imọ-ẹrọ fab fab ti o kere ju ṣugbọn tun ṣe afihan irọrun rẹ ati konge giga.

Ni afikun, diẹ ninu awọn ile-iṣẹ ti bẹrẹ lati ṣe idanwo pẹlu imọ-ẹrọ fab ti o kere ju. Fun apẹẹrẹ, Yokogawa Solutions, oniranlọwọ ti Yokogawa Electric Corporation, ti ṣe ifilọlẹ ṣiṣan ati awọn ẹrọ iṣelọpọ itẹlọrun, ni aijọju iwọn ẹrọ titaja ohun mimu, ọkọọkan ni ipese pẹlu awọn iṣẹ fun mimọ, alapapo, ati ifihan. Awọn ẹrọ wọnyi ni imunadoko ṣe laini iṣelọpọ iṣelọpọ semikondokito, ati pe agbegbe ti o kere julọ ti o nilo fun laini iṣelọpọ “mini wafer fab” jẹ iwọn nikan ti awọn agbala tẹnisi meji, o kan 1% ti agbegbe ti 12-inch wafer fab.

Bibẹẹkọ, awọn ile-iṣọ wafer ti o kere ju lọwọlọwọ n tiraka lati dije pẹlu awọn ile-iṣẹ semikondokito nla. Awọn aṣa Circuit Ultra-fine, paapaa ni awọn imọ-ẹrọ ilana ilọsiwaju (bii 7nm ati ni isalẹ), tun gbarale awọn ohun elo ilọsiwaju ati awọn agbara iṣelọpọ iwọn-nla. Awọn ilana wafer 0.5-inch ti awọn fabs wafer ti o kere ju dara julọ fun iṣelọpọ awọn ẹrọ ti o rọrun, gẹgẹbi awọn sensọ ati MEMS.

Kere wafer fabs ṣe aṣoju awoṣe tuntun ti o ni ileri gaan fun iṣelọpọ semikondokito. Ti ṣe afihan nipasẹ miniaturization, idiyele kekere, ati irọrun, wọn nireti lati pese awọn aye ọja tuntun fun awọn SME ati awọn ile-iṣẹ tuntun. Awọn anfani ti awọn fabs wafer ti o kere julọ han ni pataki ni awọn agbegbe ohun elo kan pato gẹgẹbi IoT, awọn sensọ, ati MEMS.

Ni ọjọ iwaju, bi imọ-ẹrọ ti dagba ati ti ni igbega siwaju, awọn ile-ọṣọ wafer ti o kere ju le di agbara pataki ni ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito. Wọn kii ṣe pese awọn iṣowo kekere nikan pẹlu awọn aye lati tẹ aaye yii ṣugbọn o le tun ṣe awọn ayipada ninu eto idiyele ati awọn awoṣe iṣelọpọ ti gbogbo ile-iṣẹ. Ṣiṣeyọri ibi-afẹde yii yoo nilo awọn igbiyanju diẹ sii ni imọ-ẹrọ, idagbasoke talenti, ati kikọ ilolupo.

Ni igba pipẹ, igbega aṣeyọri ti awọn fabs wafer ti o kere julọ le ni ipa nla lori gbogbo ile-iṣẹ semikondokito, ni pataki ni awọn ofin ti ipinya pq ipese, irọrun ilana iṣelọpọ, ati iṣakoso idiyele. Ohun elo ibigbogbo ti imọ-ẹrọ yii yoo ṣe iranlọwọ wakọ imotuntun siwaju ati ilọsiwaju ni ile-iṣẹ semikondokito agbaye.